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在國內(nèi)外學(xué)術(shù)會議上做飛秒激光加工方面的報告后，我經(jīng)常會被問到：飛秒激光與其它激光加工有什么不同？那么什么是飛秒激光加工設(shè)備呢？

這是一個受普遍關(guān)注卻不是只言片語就能回答的問題，就像貌似簡單的玻璃為什么是透明的問題一樣。我們需要根據(jù)理論從原理上進行分析和闡述。在這里，我們指的飛秒激光是指脈寬為1-1000 fs（1 fs=10-15s）的激光，其它激光是指脈寬大于1000 fs（1 ps）的脈沖激光或連續(xù)激光。

激光加工過程中需要考慮激光的波長、能量（或功率）、脈寬、頻譜、脈沖頻率、偏振、相位等因素，同時還要考慮聚焦系統(tǒng)以及掃描速度和方向，被加工對象物質(zhì)的組成、結(jié)構(gòu)和形態(tài)，甚至是物質(zhì)所處的環(huán)境條件如溫度和氣氛。脈寬是其中一個非常重要的具有普遍影響的激光參數(shù)。為簡單起見，下面的討論假設(shè)其它條件基本相近（其實這個條件很難成立），只是脈寬不同的情形。飛秒激光也主要是指現(xiàn)在用得最多的鈦寶石以及Yb3+摻雜晶體和光纖天莊國際登錄為主，波長在1 μm附近的近紅外的飛秒激光。

飛秒激光系統(tǒng)很貴

飛秒激光現(xiàn)在已開始用于切割、鉆孔、焊接、打標、剝離、修復(fù)等加工領(lǐng)域，但應(yīng)用還不是很普遍。一方面是很多情形其它激光也用得很好，另一方面是飛秒激光很貴。飛秒激光的價格比長脈沖激光和連續(xù)激光要貴很多。其它參數(shù)相近的飛秒和皮秒激光有時也會相差幾十萬元。

飛秒激光貴的原因主要有：

1）根據(jù)傅里葉變化關(guān)系，要產(chǎn)生超短飛秒脈沖必須具有寬光譜的增益介質(zhì)，譬如鈦寶石。增益介質(zhì)的帶寬決定了最終能實現(xiàn)的脈寬。所以用作飛秒激光增益介質(zhì)的要求會高一些，現(xiàn)在主要是鈦寶石，部分Yb3+摻雜晶體和玻璃光纖；

2）飛秒激光脈沖一般需要通過鎖膜技術(shù)來實現(xiàn)，用來加工的大脈沖能量的飛秒脈沖還需要進一步將低脈沖能量的飛秒脈沖通過脈沖展寬-放大-壓縮的再生放大技術(shù)來實現(xiàn)，飛秒激光系統(tǒng)要用到加工精細的啁啾鏡等光學(xué)元器件以及高功率抽運源，激光系統(tǒng)比較復(fù)雜。

飛秒激光特性很好

飛秒加工有不少優(yōu)勢，首先體現(xiàn)在精度高，其基于多光子吸收的特征和閾值效應(yīng)以及加工過程中熱效應(yīng)可以忽略（也就是通常強調(diào)的冷加工）。這里應(yīng)該注意，這是指單脈沖或脈沖頻率比較低的情形，另外也只是相對而言，這里忽略了激光波長以及對象物質(zhì)的特征等。

原理上，飛秒激光由于其脈寬很短，較低的脈沖能量就可以獲得極高的峰值功率（脈沖能量/脈寬），當用物鏡等進一步聚焦到材料時，由于焦點附近能量密度很高，能引起各種強烈的非線性效應(yīng)。

激光加工可以認為是一種激光誘導(dǎo)反應(yīng)，原理上分為誘導(dǎo)分子振動和電子激發(fā)。前者是熱反應(yīng)，后者與構(gòu)成物質(zhì)的原子外殼層電子關(guān)聯(lián)的化學(xué)鍵相作用?？紤]物質(zhì)的能帶結(jié)構(gòu)，一般長波長激光如CO2激光利用的是分子振動導(dǎo)致的熱反應(yīng)，短波長激光如準分子激光利用的是電子激發(fā)產(chǎn)生的化學(xué)鍵的切斷。

近紅外飛秒激光加工通過多光子過程，也就是說雖然材料在激光波長(λ)沒有線性吸收，但焦點附近的光強很高，通過同時吸收多個（n）光子，起到了將短波長(λ/n)的光拿到材料內(nèi)部去照材料所產(chǎn)生的同樣效果，實現(xiàn)有空間選擇性的微觀結(jié)構(gòu)操控，而不影響表面結(jié)構(gòu)，這是飛秒激光加工的另外一個優(yōu)勢。

因為多種非線性過程競相參與，所產(chǎn)生的現(xiàn)象往往超過我們的預(yù)測和想像。飛秒激光與材料相互作用時，在此我們考慮在激光波長沒有線性吸收的介質(zhì)，首先是通過多光子吸收或電離等過程，激光能量沉積在電子體系中，進而通過一系列的能量傳遞和輸送過程，導(dǎo)致材料的一系列變化。一般情況下，在激光輻照下，電子吸收光子被激發(fā)的時間在fs范圍（脈沖作用過程中），隨后發(fā)生電子-聲子耦合，能量傳遞至晶格與晶格達到熱平衡的時間在幾個到幾十ps量級。熱擴散、材料熔融的時間尺度隨著材料的不同而有所區(qū)別，基本在幾十到幾百ps的時間量級。材料表面燒蝕形成的時間為幾百ps到ns不等。

在納秒及皮秒激光作用下，電子氣中沉積的激光能量在激光脈沖照射材料的時間內(nèi)就傳給晶格，從而引起材料的加熱、熔化甚至燒蝕，過程中熱效應(yīng)的作用明顯。而飛秒激光的脈沖寬度小于電子-聲子相互作用的時間尺度，電子氣中沉積的激光能量來不及傳給離子激光脈沖輻照就已經(jīng)結(jié)束了。此時電子氣的溫度非常高，而離子的溫度卻很低，材料發(fā)生的是“冷”燒蝕過程，抑制了流體力學(xué)效應(yīng)、熱學(xué)效應(yīng)等，加工的精度很高。已有不少工作比較了脈寬對激光加工的影響。從圖1可以看出飛秒脈沖加工結(jié)構(gòu)比較陡峭而干凈，皮秒和納秒激光存在熱效應(yīng)產(chǎn)生的隆起和殘余。正是由于飛秒激光的高精度和“冷加工”特性，它可以廣泛應(yīng)用于微電子、航空航天等工業(yè)領(lǐng)域，也應(yīng)用于醫(yī)療，如近視眼矯正、腦科手術(shù)等。

圖1 不同脈寬激光在100 μm厚的不銹鋼薄片上打孔的效果

左：80 ps 中：3.3 ns 右：200 fs

當脈沖寬度大于20 ps，研究表明石英玻璃的損傷閾值與脈沖寬度的平方根成正比，也就是說這時石英玻璃發(fā)生了熱損傷。當脈沖寬度小于10 ps時，損傷閾值與脈沖寬度的依賴關(guān)系明顯偏離平方根的規(guī)律，材料的損傷主要是由雪崩擊穿引起。在強電場作用下，一個電子被加速到能量高于帶隙寬度時，它將與價電子碰撞并產(chǎn)生兩個動能較小的導(dǎo)帶電子。如此的鏈式過程不斷重復(fù)，電子數(shù)隨時間按指數(shù)規(guī)律增長。如果雪崩產(chǎn)生的電子數(shù)密度在脈沖輻照時間內(nèi)達到臨界值，材料被擊穿。賈天卿等將量子力學(xué)與經(jīng)典近似相結(jié)合，研究了導(dǎo)帶電子的光吸收，根據(jù)flux-double模型和Keldysh理論分別算出了雪崩速率和光致電離速率，對材料中導(dǎo)帶電子數(shù)密度的演化進行了分析，發(fā)展了雪崩擊穿模型，解釋了材料的損傷閾值與脈沖寬度以及燒蝕深度、燒蝕體積與激光強度的依賴關(guān)系。

飛秒激光作用于金屬時，由于飛秒激光的脈沖寬度小于電子-聲子相互作用的時間尺度，電子吸收的激光能量來不及傳給離子就結(jié)束了。所以電子的溫度很高而離子的溫度還很低，飛秒激光燒蝕金屬是一個非平衡燒蝕。雙溫模型和改進的雙溫模型表明晶格的溫度變化跟晶格熱傳導(dǎo)和電子-晶格耦合有關(guān)。在高強度（≥1014W/cm2） 飛秒激光的作用下，材料的電離完成于脈沖作用時間（~100 fs）結(jié)束前，此時金屬和介質(zhì)的燒蝕機理是一樣的。

飛秒激光是冷加工，其實是一個誤解

經(jīng)常有人認為飛秒激光一定是冷加工，其實這也是一個誤解。飛秒激光加工還與激光脈沖頻率有關(guān)。當將眾多的飛秒激光脈沖串起來準連續(xù)的脈沖陣列也就是脈沖頻率很高時，飛秒激光加工的剩余熱會產(chǎn)生熱累積效應(yīng)。控制重復(fù)頻率則有望實現(xiàn)兼具飛秒激光和長脈沖或連續(xù)激光特征的多光子吸收和熱效應(yīng)共存的三維結(jié)構(gòu)制備，進一步拓展形成微納結(jié)構(gòu)的種類與材料的功能。

圖2 飛秒激光在碲酸鹽玻璃樣品中誘導(dǎo)的熱影響區(qū)域

圖2是250 fs, 800 nm, 500 kHz飛秒激光在碲酸鹽玻璃樣品中誘導(dǎo)的熱影響區(qū)域的光學(xué)照片。誘導(dǎo)的結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)明顯的熱效應(yīng)，結(jié)構(gòu)隨照射時間明顯增大。飛秒激光與材料相互作用過程中，光子加熱電子（<1ps）和電子—聲子耦合的時間尺度（ps）遠小于熱擴散的時間尺度（>0.1ns），這樣激光加工的剩余熱會產(chǎn)生一個熱場。對于低重復(fù)頻率飛秒激光，由于脈沖之間的間隔時間較長，在下一個脈沖到達材料的時候，激光聚焦區(qū)域的溫度已經(jīng)下降到環(huán)境溫度。而對于高重復(fù)頻率飛秒激光，由于其脈沖之間的間隔時間較短，當這個時間短于激光照射產(chǎn)生的熱場擴散所需的時間的時候，下一個脈沖到達樣品時，前一個脈沖產(chǎn)生的熱場還沒有完全消散，就會導(dǎo)致熱量的累積作用。而隨著照射時間的延長，激光脈沖數(shù)量的增加，激光聚焦區(qū)域的溫度會逐漸升高，直至到達動態(tài)平衡。高重復(fù)頻率飛秒激光照射過程中產(chǎn)生的熱場雖然會增大激光誘導(dǎo)微納結(jié)構(gòu)的尺寸，但它對某些微納結(jié)構(gòu)的形成也是至關(guān)重要的。

網(wǎng)上有不少將飛秒激光神化的描述，我們需要還原飛秒激光的本來面目，將飛秒激光用到極致，用在其能真正發(fā)揮其特點的領(lǐng)域，而不是“將原子彈用來轟蚊子”。

作者：邱建榮，浙江大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點實驗室

參考文獻：

1 邱建榮，【飛秒激光加工技術(shù)---基礎(chǔ)和應(yīng)用】，科學(xué)出版社，2018， 北京。

2 B.N. Chichkov et al., Appl. Phys. A63, 109-115(1996).